甲岸科技等离子刻蚀机 30L 甲岸科技等离子刻蚀机对进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀，实现各项异性刻蚀，确保细小图形转移后的保真性。满足用户对产品表面处理需求。 产品应用 1、适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、刻蚀、清洗、镀膜。 产品特点 小巧灵活、操作简单、易维护。 引进德国核心等离子技术，质量有保障。 进口针阀精密流量控制计，精度高。 材质耐腐蚀，环保不产生金属污染。 多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。 可以根据客户需求定制 型号 AP-E30 等离子源系统 频率 13.56MHz射频 功率 0~500W可调 真空系统 真空腔体 材质 石英、航空铝（选配） 腔体内部尺寸(MM) 400*200*400 腔体容积 30L 极板 1层 密封性 级焊接密封 泵 真空泵 干泵 真空管路 不锈钢管、不锈钢波纹管 真空计 薄膜硅 气体流量计 ＜±1% FS 气路控制 2路处理气体气路，气体流量可调 极限真空 3Pa 适用气体 流量范围 0-500SCCM（可调） 工艺气体 Ar、N₂O₂、H₂等等（可选） 控制系统 1、PLC 自动控制； 2、7寸触摸屏,图形用户界面； 3、配方程序为0~99； 4、多级权限操作； 5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息； 6、存储工艺数据及错误信息； 7、报警信息提示及追溯； 8、图形化界面检测处理参数； 9、自动、手动操作可切换； 10、维护提示紧急停止按钮； 11、门感应器和真空互锁； 12、机器运行信号指示； 13、机器运行结束提示； 外观参数 外形尺寸(MM) 640*1700*840(宽高深） 重量 280KG 设施配置 电力 五线，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 压缩空气 干燥压缩空气CDA。 其它 提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单。
